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CMS-500型

CMS-500型小型立體自動倉庫可提供高層或多層倉儲 ，有效地節省自動化無塵室空間。

CMS-500型立體自動倉庫可將前置時間減至最低，以支援高容量的生產作業。

主要的問題是:

• 晶圓的人工倉儲
• 樓層間搬運
• 樓層間倉儲

性能

可挑高至樓層間高度

優點

樓層間的搬送

適用行業：

• 半導體
• 矽晶圓

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