主要的問題是:
- 晶圓的人工倉儲
- Cassettes 或 Boxes
- 潔淨度1級
- 水平搬送
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CLS-50/CLS-50II型
CLS-50型無塵立體自動倉庫可提供300㎜無塵室自動化倉儲系統需具備的速度、尺寸、及可擴展性。
其模組化設計， CLS-50型立體自動倉庫可根據需求進行水平搬送。其HID非接觸式或刷式供電，提供了CLS-50型更為安定的性能。
性能
優點
適用行業：
- 半導體
- 矽晶圓
CLS-50型無塵立體自動倉庫可提供300㎜無塵室自動化倉儲系統需具備的速度、尺寸、及可擴展性。
其模組化設計， CLS-50型立體自動倉庫可根據需求進行水平搬送。其HID非接觸式或刷式供電，提供了CLS-50型更為安定的性能。