可水平搬送:
- 晶圓的人工倉儲
- Cassettes 或Boxes
- 潔淨度1級
- Open-cassette
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CLS-40型
大福的CLS-40型無塵立體自動倉庫成功地將速度、穩定且具發展性的優點整合成為一套200㎜的無塵室自動倉儲系統之中。其模組化的設計，CLS-40型立體自動倉庫可根據需求實現高流量的水平搬送。
同時其HID非接觸式或刷式給電使其性能更加安定。
性能
優點
適用行業：
- 半導體
- 矽晶圓
大福的CLS-40型無塵立體自動倉庫成功地將速度、穩定且具發展性的優點整合成為一套200㎜的無塵室自動倉儲系統之中。其模組化的設計，CLS-40型立體自動倉庫可根據需求實現高流量的水平搬送。
同時其HID非接觸式或刷式給電使其性能更加安定。