在半導體製造中，效率和潔淨度是最重要的關鍵。大福的半導體搬送系統，透過利用HID非接觸式給電感應系統，解決了粉塵(Particle)產生的問題。

大福可提供符合所有載具中任何尺寸的物料搬送系統，並可達到快速、高效且穩定的性能。

結合大福的半導體倉儲系統，必可將生產效率發展至最高。此外，大福可根據不同尺寸、用途加以提供，例如 ：

200 mm晶片倉儲系統

• CLS-40型無塵立體自動倉庫

300 mm晶片倉儲系統

• CLS-50和50II型無塵立體自動倉庫（可水平擴展）
• CMS-500小型無塵立體自動倉庫（利用樓層高度）
• 零佔地面積倉儲（僅使用軌道的兩邊及底部）

Reticle立體自動倉庫