半導體搬運系統

在半導體製造中，效率及潔淨度是重要關鍵。大福的半導體搬送系統，透過利用HID非接觸式給電感應系統，成功解決了粉塵(Particle)產生的問題。

不僅如此，大福可為各種不同的搬運裝置及尺寸打造出適合的系統。結合大福的半導體倉儲系統，必定可將生產效率發展至最高。而且，大福擁有最完整的產品搬送系統，

可以滿足所有載具中任何尺寸的物料。此外，為解決粉塵(Particle)產生所帶來的問題，大福的搬送系統採用了HID非接觸式給電感應系統。

200mm系統

• Cleanway 07型（CLW-07）
• 無塵升降機（CLL-40型）

300mm系統

• Cleanway 07型（CLW-07）
• Cleanway 07II型（CLW-07II）
• 無塵升降機（CLL-50型）